HORIBA GR-312/312F 晶圓背面冷卻系統(tǒng) RS-485背冷壓力控制器

產(chǎn)品簡介

HORIBA GR-312/312F 背冷壓力控制器 屬于 GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)，主要用于靜電吸盤固定晶圓時的背面冷卻氣體壓力控制。該組型號適合需要 RS-485 F-Net 通信 的半導體設(shè)備配套場景，可用于 He、Ar、N2 等氣體相關(guān)的背冷控制應用。其中 GR-312 為壓力控制型號，GR-312F 在壓力控制基礎(chǔ)上增加了流量監(jiān)測能力，更適合對過程狀態(tài)監(jiān)控要求更高的設(shè)備方案。

產(chǎn)品特點

HORIBA GR-312/312F 背冷壓力控制器 具備穩(wěn)定的晶圓背冷壓力控制能力，適用于晶圓中心區(qū)或邊緣區(qū)的冷卻氣體調(diào)節(jié)。該組產(chǎn)品壓力控制范圍為 1–100% F.S.，壓力精度為 ±0.5% F.S.，響應時間 1 秒以內(nèi)，適合半導體設(shè)備中對背冷控制穩(wěn)定性和一致性要求較高的工況。

GR-312/312F 的另一特點是更適合接入保留 RS-485 架構(gòu)的設(shè)備控制系統(tǒng)。該組型號采用 ±15V 電源，通信方式為 RS-485 F-Net Protocol；同時，GR-312/312F 的壓力輸出為 0–10VDC。對于需要模擬量輸出配合上位系統(tǒng)采集的設(shè)備，這組型號更容易集成。

如果客戶需要同時監(jiān)測背冷氣體流量，建議優(yōu)先推薦 GR-312F。根據(jù) HORIBA 資料，GR-312F 提供 20、50、100 SCCM 流量滿量程可選，流量測量范圍為 0–100% F.S.，流量輸出為 0–5VDC。

技術(shù)參數(shù)

型號： GR-312 / GR-312F
產(chǎn)品類型： 晶圓背面冷卻氣體壓力控制器
通信協(xié)議： RS-485 F-Net Protocol
驅(qū)動電源： +15V ±5% / 150mA，-15V ±5% / 150mA
閥型： 常閉（Normally Close / NC）
適用氣體： He、Ar、N2（F 型明確列出）
滿量程壓力： 13.33 kPa(A) [100 Torr]
壓力控制范圍： 1–100% F.S.
壓力精度： ±0.5% F.S.
響應時間： ≤1 秒
工作壓力： 250 kPa(A)
耐壓： 300 kPa(A)
外部泄漏率： ≤5×10^-12 Pa·m3/s（He）
壓力輸出： 0–10VDC
標準接頭： 1/4 inch VCR 相當
安裝方向： 自由
GR-312F 流量滿量程： 20 / 50 / 100 SCCM
GR-312F 流量測量范圍： 0–100% F.S.
GR-312F 流量輸出： 0–5VDC。

典型應用

GR-312/312F 適合用于需要 RS-485 通信 的半導體設(shè)備背冷控制單元，例如等離子體 CVD、蝕刻、背冷回路壓力調(diào)節(jié)以及部分腔體精密壓力控制場景。GR-312F 更適合同時要求背冷壓力調(diào)節(jié)與流量監(jiān)測的應用。