HORIBA GR-314/314F 晶圓背面冷卻系統(tǒng) DeviceNet背冷壓力控制器

產(chǎn)品簡介

HORIBA GR-314/314F 壓力控制器 是面向 DeviceNet 通信架構(gòu) 的晶圓背面冷卻壓力控制產(chǎn)品，適用于靜電吸盤系統(tǒng)中的背冷氣體壓力調(diào)節(jié)。該組型號適合半導(dǎo)體設(shè)備廠商在 DeviceNet 控制平臺下進(jìn)行背冷壓力控制方案設(shè)計。其中 GR-314 用于壓力控制，GR-314F 在此基礎(chǔ)上增加流量監(jiān)測能力，可用于更高要求的過程監(jiān)控場景。

產(chǎn)品特點

HORIBA GR-314/314F 壓力控制器 保留了 GR-300 系列共通的高穩(wěn)定性壓力控制能力。其壓力控制范圍為 1–100% F.S.，壓力精度 ±0.5% F.S.，響應(yīng) 1 秒以內(nèi)，適用于晶圓背面冷卻過程中對 He、Ar 等氣體進(jìn)行精確壓力調(diào)節(jié)。

這組型號的核心優(yōu)勢在于 DeviceNet 通信。GR-314/314F 采用 ODVA 適配的 DC24V、4.0VA 供電規(guī)格，壓力輸出信號為 0–100%，更適合接入采用現(xiàn)場總線方式的半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)。對于已經(jīng)使用 DeviceNet 的設(shè)備廠商，這一組型號通常比 RS-485 或 EtherCAT 方案更直接。

對于需要兼顧壓力控制和流量監(jiān)測的客戶，可重點推薦 GR-314F。GR-314F 提供 20、50、100 SCCM 的流量規(guī)格，流量輸出為 0–100%，適合做過程監(jiān)控與自診斷相關(guān)應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)

型號： GR-314 / GR-314F
產(chǎn)品類型： 晶圓背面冷卻氣體壓力控制器
通信協(xié)議： DeviceNet Protocol
驅(qū)動電源： DC24V，4.0VA（ODVA 適配）
閥型： 常閉（Normally Close / NC）
適用氣體： He、Ar、N2（F 型明確列出）
滿量程壓力： 13.33 kPa(A) [100 Torr]
壓力控制范圍： 1–100% F.S.
壓力精度： ±0.5% F.S.
響應(yīng)時間： ≤1 秒
工作壓力： 250 kPa(A)
耐壓： 300 kPa(A)
外部泄漏率： ≤5×10^-12 Pa·m3/s（He）
壓力輸出： 0–100%
標(biāo)準(zhǔn)接頭： 1/4 inch VCR 相當(dāng)
安裝方向： 自由
GR-314F 流量滿量程： 20 / 50 / 100 SCCM
GR-314F 流量測量范圍： 0–100% F.S.
GR-314F 流量輸出： 0–100%。

典型應(yīng)用

GR-314/314F 適合用在采用 DeviceNet 網(wǎng)絡(luò) 的蝕刻設(shè)備、等離子體 CVD 設(shè)備及其他需要背冷氣體壓力控制的半導(dǎo)體工藝設(shè)備中。GR-314F 尤其適合需要同時獲取流量信息的系統(tǒng)，用于提高設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)可視化與維護(hù)效率。