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質(zhì)量流量計(jì)
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HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該控制器可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。
HORIBA 質(zhì)量流量控制器全系列涵蓋氣體質(zhì)量流量控制器、壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器、通用型質(zhì)量流量控制器及液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,主要包括 SEC-Z500X、SEC-N100、SEC-Z700X、SEC-E 和 LF-F/LV-F 等系列。
HORIBA S48-BM211 質(zhì)量流量控制器是一款面向?qū)嶒?yàn)室、分析儀器配套及工業(yè)設(shè)備集成應(yīng)用的通用型氣體質(zhì)量流量控制器。該產(chǎn)品采用金屬密封結(jié)構(gòu),接氣材質(zhì)為 SUS316L、PTFE 和磁性不銹鋼,具備較低的外部漏率,可滿足多種氣體流量精密控制需求。
HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 是日本堀場(chǎng)(HORIBA)旗下 SEC-N100 系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC) 的代表型號(hào)之一。
HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,隸屬于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。該系列產(chǎn)品專為半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì),具備高精度、多通信協(xié)議支持和快速響應(yīng)等特點(diǎn)。
HORIBA 氣體質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),隸屬于 HORIBA Z500X 系列,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景。
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