HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述：

HORIBA質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品線主要面向氣體與液體的精密流量測量和閉環(huán)控制，涵蓋數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器、壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器、通用型質(zhì)量流量控制器，以及液體質(zhì)量流量計/控制器等多個方向，適用于半導(dǎo)體制造、科研實驗室以及多種工業(yè)流體控制場景。其相關(guān)產(chǎn)品長期由HORIBASTEC體系提供，主要系列包括SEC-Z500X、SEC-N100、SEC-Z700X、SEC-E，以及LF-F/LV-F等。  

質(zhì)量流量控制器的核心作用，是按照外部設(shè)定信號自動調(diào)節(jié)流體流量，并通過傳感器、旁通結(jié)構(gòu)、控制閥和控制電路實現(xiàn)實時測量與反饋控制。與單純體積流量控制相比，質(zhì)量流量控制更適合需要高穩(wěn)定性和高重復(fù)性的工藝過程，因此被廣泛應(yīng)用于自動化產(chǎn)線和精密實驗系統(tǒng)。  

產(chǎn)品系列  

SEC-Z500X系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器  

SEC-Z500X系列屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，也是HORIBA在該方向上的代表性系列之一。該系列支持Multi-Gas/Multi-Range功能，可在現(xiàn)場更改氣體種類和滿量程流量，便于減少備件種類、提升設(shè)備通用性；同時具備±1.0%S.P.精度、壓電執(zhí)行閥、約1秒響應(yīng)以及全金屬結(jié)構(gòu)，可用于對穩(wěn)定性、響應(yīng)速度和工藝一致性要求較高的氣體控制場合。通信方式方面，可提供Digital/Analog、DeviceNet和EtherCAT等接口。  

SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器  

SEC-N100系列更強調(diào)寬量程覆蓋與多行業(yè)適配能力，流量控制范圍可從10SCCM延伸至1000SLM，適合從微小流量到大流量的不同工況。該系列同樣支持Multi-Gas/Multi-Range功能，并提供Digital/Analog、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT等多種通信方式，兼顧系統(tǒng)集成靈活性與數(shù)字化控制需求。其標(biāo)稱精度可達(dá)±1.0%S.P.，并具備約1秒高速響應(yīng)，適合設(shè)備制造、工藝開發(fā)及多行業(yè)氣體過程控制。  

SEC-Z700X系列壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器  

SEC-Z700X系列適合對供氣穩(wěn)定性要求更高、且上游或下游壓力波動較明顯的系統(tǒng)。該系列集成入口壓力測量能力，并采用壓力不敏感控制思路，可在一定程度上減少傳統(tǒng)供氣系統(tǒng)中調(diào)壓器、壓力傳感器和過濾器的配置需求，從而幫助簡化氣路結(jié)構(gòu)、降低系統(tǒng)復(fù)雜度。該系列同樣支持Multi-Gas/Multi-Range、約1秒響應(yīng)和±1.0%setpoint精度，并可同時輸出流量、溫度和壓力相關(guān)信息。  

SEC-E系列通用型質(zhì)量流量控制器  

SEC-E系列屬于通用型質(zhì)量流量控制器，采用熱式傳感器與電磁閥結(jié)構(gòu)，適合實驗室及工業(yè)系統(tǒng)中的常規(guī)氣體流量控制任務(wù)。該系列流量范圍覆蓋10SCCM至200SLM，既可用于LCD、光伏、電力半導(dǎo)體、涂層等制造系統(tǒng)，也可用于燃燒氣體控制、環(huán)境氣體控制、混合氣體配比、通風(fēng)量測量、實驗室采樣以及研發(fā)測試等應(yīng)用。對于需要兼顧穩(wěn)定性、適用范圍和成本效率的場景，SEC-E系列具有較高通用性。  

LF-F/LV-F系列液體質(zhì)量流量計與控制器  

LF-F/LV-F系列用于液體質(zhì)量流量測量與控制，適合低沸點液體、高黏度液體以及微小流量液體的精密輸送。該系列采用Peltier冷卻式測量原理，通過冷卻而非加熱方式檢測流量變化，可降低低沸點液體在檢測過程中的汽化風(fēng)險，提高測量穩(wěn)定性。其控制能力覆蓋從微升級到超低流量范圍，其中LF-F為液體質(zhì)量流量計，LV-F則在相同測量原理基礎(chǔ)上增加壓電閥和內(nèi)部比較控制電路，實現(xiàn)閉環(huán)液體流量控制，適合精密供液、蒸發(fā)供液及相關(guān)液體工藝系統(tǒng)。  

產(chǎn)品特點  

HORIBA質(zhì)量流量控制器的特點在于系列層次清晰，既有適合高精度半導(dǎo)體工藝的數(shù)字式系列，也有適合多行業(yè)應(yīng)用的寬量程通用系列，同時覆蓋液體質(zhì)量流量測量與控制。氣體側(cè)產(chǎn)品強調(diào)高精度、快速響應(yīng)、多氣體多量程切換和豐富通信方式；液體側(cè)產(chǎn)品則強調(diào)低沸點液體適配、超低流量控制和穩(wěn)定的閉環(huán)反饋控制能力。  

在系統(tǒng)集成方面，HORIBA質(zhì)量流量控制器可提供模擬和多種工業(yè)總線通信接口，適合接入自動化控制平臺、半導(dǎo)體設(shè)備、科研測試系統(tǒng)及工業(yè)氣液流體控制系統(tǒng)。對于需要提高工藝重復(fù)性、縮短設(shè)備切換時間、減少備件種類并提升數(shù)字化管理能力的應(yīng)用場景，多氣體、多量程和多通信接口配置具有較高實用價值。  

典型應(yīng)用  

日本HORIBA質(zhì)量流量控制器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏制造、顯示制造、光纖制造、科研實驗室、測試氣體發(fā)生系統(tǒng)、燃燒及配氣系統(tǒng)、環(huán)境氣體控制、食品飲料工藝以及液體蒸發(fā)與輸送控制等領(lǐng)域。其中，氣體MFC更適合精密供氣和混氣應(yīng)用，液體質(zhì)量流量控制器則更適合精密供液、低沸點化學(xué)品輸送及相關(guān)液體工藝控制。