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產(chǎn)品中心

當前位置：首頁產(chǎn)品中心在線分析儀器質量流量計D700T壓力不敏感質量流量控制器

壓力不敏感質量流量控制器
產(chǎn)品簡介：

D700T是為關鍵半導體制造工藝設計的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術，以提供行業(yè)優(yōu)秀的可重復和準確的性能。

產(chǎn)品型號：D700T

更新時間：2025-04-07

廠商性質：代理商

訪問量：363

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產(chǎn)品介紹
品牌HORIBA/堀場價格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類差壓式介質分類氣體
產(chǎn)地類別進口應用領域環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件
動態(tài)范圍可定制支持氣體支持多種氣體及單位（sccm ~ slm）
控制精度±0.45% S.P.響應時間小于 100 ms
通信接口DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等使用溫度15°C ~ 60°C
工作壓力≤0.5 MPa（參考氣體不同略有差異）

HORIBA D700T 壓力不敏感質量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA D700T 是一款面向半導體制造領域的壓力不敏感質量流量控制器，采用優(yōu)良的 CRITERION® 壓力式流量測量與控制技術，具備出色的響應速度、壓力不敏感性和高精度控制能力。該產(chǎn)品被廣泛應用于半導體、顯示器、光電子等制造領域的氣體輸送系統(tǒng)中。

產(chǎn)品特點

  • 超快響應時間
    配備新一代控制算法和雙閥門結構，實現(xiàn)了 小于 100 ms 的高速響應，大幅提高了生產(chǎn)效率。

  • 進/出口壓力變化不敏感
    補償機制可在工藝過程中壓力波動的情況下維持穩(wěn)定流量，保障工藝一致性。

  • 高重復性與高精度

    • 重復性：≤ ±0.15% F.S.

    • 精度：優(yōu)良可達 ±0.45% S.P.，典型值為 ±0.8% S.P.

  • 故障檢測與自診斷功能
    具備優(yōu)良的自診斷能力，實時監(jiān)測并反饋壓力漂移、閥體泄漏等潛在風險。

  • 數(shù)字化通信接口
    支持DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT等工業(yè)協(xié)議，方便與上位系統(tǒng)集成。

  • 適應嚴苛工藝環(huán)境
    工作溫度范圍：15°C ~ 60°C，適用于各種潔凈室條件。

技術規(guī)格

參數(shù)數(shù)值
控制范圍可定制
支持氣體多種氣體
控制精度±0.8% S.P.（典型），±0.45% S.P.（優(yōu)良）
重復性±0.15% F.S.
響應時間≤ 100 ms
通信接口DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等
工作壓力真空至 300 kPa
使用溫度15°C ~ 60°C
接口類型DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等

應用領域

  • 半導體前段工藝（如刻蝕、沉積、離子注入）

  • 顯示面板制造

  • 化學氣相沉積（CVD）

  • 原子層沉積（ALD）

  • 光電子與精密材料工藝

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