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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計(jì)S48-300高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器

高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介：

HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、太陽能電池生產(chǎn)、真空鍍膜、分析儀器以及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號：S48-300

更新時間：2025-04-07

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：508

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產(chǎn)品介紹
品牌HORIBA/堀場價格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類差壓式介質(zhì)分類氣體
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件
動態(tài)范圍300 SCCM支持氣體N?、Ar、H?、He、O?等
控制精度±1.0%響應(yīng)時間≤1 秒
通信接口模擬電壓信號（0~5 VDC）或數(shù)字通訊（選配）使用溫度5～50°C
工作壓力50～300 kPa

HORIBA S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），適用于多種氣體控制場合，兼具高精度、快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測、光纖制造等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 安裝靈活：支持任意角度安裝，提升現(xiàn)場布局的自由度。

  • 高精度控制：采用多段線性調(diào)整技術(shù)，控制精度更高，調(diào)節(jié)比更寬。

  • 快速響應(yīng)：T98響應(yīng)時間小于1秒，滿足快速過程控制需求。

  • 自動零點(diǎn)調(diào)整：具備自動零點(diǎn)修正功能，有效補(bǔ)償環(huán)境變化帶來的偏差。

  • 多氣體兼容：可適用于N?、O?、Ar、He、H?等多種氣體。

  • 豐富的流量范圍：覆蓋10 SCCM至50 SLM，滿足從微量到大流量的不同應(yīng)用。

技術(shù)規(guī)格

高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 分析儀器：用于氣相色譜、光譜儀、質(zhì)譜儀等氣體控制部分。

  • 實(shí)驗(yàn)室研究：氣體混合、等離子體實(shí)驗(yàn)、化學(xué)反應(yīng)氣體流量控制。

  • 半導(dǎo)體與真空工藝：PVD、CVD、刻蝕、擴(kuò)散等工藝中的精密氣體輸送。

  • 太陽能電池制造：氣體沉積、氣氛控制。

  • 光纖制造：MCVD/VAD/OVD等工藝中對反應(yīng)氣的精確控制。

  • 環(huán)境監(jiān)測：VOCs檢測、PM2.5分析、動態(tài)稀釋系統(tǒng)。

  • 爐窯控制：氣體配比、燃燒控制等工業(yè)過程。



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