HORIBA SEC-Z700S 系列 新型壓力補償質量流量控制器（MFC）

產品概述

HORIBA SEC-Z700S 系列是一款高性能新型壓力補償質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），專為高精度氣體輸送系統(tǒng)設計。其集成優(yōu)良的熱傳感器與壓力補償算法，有效克服了上游和下游壓力波動對流量穩(wěn)定性的影響，適用于半導體制造、材料工藝、精密氣體混合等領域。

產品特點

• 多氣體 / 多量程支持
  可通過軟件設置快速切換氣體種類和滿量程流量，提升通用性與靈活性。

• 內建壓力傳感器與溫度傳感器
  實現(xiàn)更精確的流量補償，適應復雜的工作環(huán)境。

• 高潔凈設計
  流路全部采用 SUS316L 不銹鋼及金屬隔膜，表面鏡面拋光，符合半導體行業(yè)高潔凈標準。

• 豐富的通訊接口
  支持 Analog（0-5V / 4-20mA）、DeviceNet、EtherCAT 等主流工業(yè)通信協(xié)議。

• 結構緊湊
  相同體積覆蓋 50 SLM 以下的多種型號，簡化系統(tǒng)集成。

• 響應時間可調
  支持 300ms ~ 1000ms 之間靈活調整控制響應時間。

技術規(guī)格

適用行業(yè)與應用場景

• 半導體設備氣體輸送

• 顯示器制造工藝

• 化學氣相沉積（CVD / ALD）

• 高精度氣體混合與分配

• 科研實驗室及氣體反應系統(tǒng)