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HORIBA GR-224FD 是一款專為半導(dǎo)體制造環(huán)境開發(fā)的自動壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器(Auto Pressure Regulator, APR),其核心功能是控制晶圓背面腔體中的氣體壓力,從而實現(xiàn)溫度穩(wěn)定和熱傳導(dǎo)效率的優(yōu)化。
HORIBA GR-300 系列 是一款專為半導(dǎo)體制造環(huán)境開發(fā)的自動壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器(Auto Pressure Regulator, APR),其核心功能是控制晶圓背面腔體中的氣體壓力,從而實現(xiàn)溫度穩(wěn)定和熱傳導(dǎo)效率的優(yōu)化。
HORIBA LF-F / LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計/控制器 是專為微小液體流量測量和控制而設(shè)計的高性能設(shè)備。
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