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HORIBA 氣體質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隸屬于 HORIBA Z500X 系列，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景。

SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC），隸屬于 SEC-Z500X 系列，專(zhuān)為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì)。

HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列，專(zhuān)為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì)。

HORIBA GR-511F 是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器，主要用于在靜電吸盤(pán)（ESC）環(huán)境中控制氦氣或氬氣的背面壓力與流量，以保持晶圓背面的溫度均勻性與熱交換效率。

HORIBA SEC-N112MGM 是 HORIBA STEC 公司推出的 SEC-N100 系列中的高性能模擬型熱式質(zhì)量流量控制器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、LED 制造及液晶面板生產(chǎn)等高精度氣體控制領(lǐng)域。

HORIBA S48-32/HMT 是一款廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、LED、LCD 等行業(yè)的高精度熱式質(zhì)量流量控制器。